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| 指标 | 薄膜测试 | 容器测试（另购） |
|---|---|---|
| 测试范围 | 0.01～6500 cm3/(m2·d)（常规） 0.07～65,000 cm3/(m2·d)（可选） |
0.0001～60 cm3/pkg·d |
| 试样数量 | 1～3 件（数据各自独立） | |
| 分辨率 | 0.001 cm3/m2·d | 0.00001 cm3/pkg·d |
| 试验温度 | 15℃～55℃（常规） | |
| 控温精度 | ±0.1℃（常规） | |
| 试验湿度 | 0%RH、35%RH～90%RH | |
| 控湿精度 | ±1% RH | |
| 试验气体 | O2、空气等（气源用户自备） | |
| 测试面积 | 50 cm2 | / |
| 试样厚度 | ≤3 mm （其他厚度要求可定做） | / |
| 试样尺寸 | 108 mm × 108 mm | |
| 载气 | 99.999%高纯氮气或含氢2%的氮气（气源用户自备） | |
| 气源压力 | ≥0.28 MPa | |
| 接口尺寸 | 1/8英寸金属管 | |
| 外形尺寸 | 690 mm (L) × 350 mm (W) × 360 mm (H) | |
| 电源 | AC (85～264)V (47～63)Hz | |
| 净重 | 70 kg | |
