抽气速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
25000/30000 l/min | |
1500/1800 m3/h | ||
883/1060 CFM | ||
极限压力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-4 Torr | |
≤1.010-3 mbar | ||
≤1.0 Pa | ||
水冷密封马达(Canned Motor) | 频率 Frequency | 50/60 Hz |
电压Voltage | 220~440 V | |
额定功率Rated Power | 6+6/4.47+4.47 HP/Kw | |
连接口(Connection) | 进气口 Inlet | ISO160(bolted) |
排气口 Outlet | NW40 | |
冷却水 Cooling Water | 压力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
温度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
接头 Connection | RC3/8" | |
氮气 N2 | 压力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
稀释流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
接头 Connection | Swagelok 1/4" | |
尺寸 Dimension | 长x宽x高 | 920430x1030 mm |
重量 Weight | 545 Kg | |
噪音 Noise | <70 dB(A) | |
控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
系统最大漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
室温操作范围 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
操作湿度 Operation Moisture | 90%以下 |